弯道超车

    只是不知道他们是如何绕过浸润法的困难。”佐藤博人说，他是EUVA在御殿场市的研发团队的负责人。

    在光刻机失利后，佐藤博人同样经历了很长一段时间的失落和沉寂，和小松正志比起来，他最后还是走出来了，甚至换了个研究方向重新活跃在学术界。

    此时意气风发指点新芯光刻机技术的他们，不会知道这个未来对霓虹的光刻机产业只会更加残酷。

    尼康和佳能这次连残羹冷炙都吃不到了。

    “我也好奇，因为新芯最早是买的我们的光刻机技术，他们如果要采用浸润法的话，需要完全重新构建整个物镜光路。

    这可不是一个小工作。

    这需要耗费大量的人力物力。”小松正志说。

    作为光源制造商，他很清楚，尼康的技术关键，要想采用浸润式有太多困难了。

    最大的困难就是物镜光路的改造，尼康的技术最后一块物镜是曲面的，曲面镜片和浸润式存在天然的不兼容。

    而ASML的193nm光刻机最后一片镜片是平的，ASML的物镜系统可以无缝对接浸没式系统。

    佐藤博人说：“我每次在IEEE的光学大会上和林博士聊，他对光刻机领域如何利用光源非常精通。

    想必在他主导下，加上新芯的人才储备和资源投入，重构整个物镜光路是完全可行的技术路线。”

    “不，不是因为林，新芯能改造我们的物镜光路，是因为有蔡司的全力支持。”杰夫·怀特说，他是尼康新上任的CEO，不知道什么时候坐到了佐藤和小松正志的旁边。

    小松正志和佐藤博人都连忙和杰夫·怀特打招呼。

    简单的寒暄后，杰夫·怀特说：“虽然不想承认，但是新芯在光刻机领域的研发速度远超我们的预计。

    其中新芯自身从尼康、佳能挖走大量研发人员是原因之一，他们获得了蔡司的全力配合是更重要的原因。

    对于一套新的光学通路来说，没有蔡司的配合，新芯无论如何也没有办法在短短两年时间做到重构整个物镜光路。”

    杰夫·怀特很无奈，当年尼康做出把技术卖给新芯的时候他还不是尼康的CEO，后来复盘的时候他想过，如果当时他是新芯的CEO是一定不会把技术卖给新芯的。

    远在东京的尼康不会知道Newman有多神奇，只有身在硅谷的杰夫·怀特对这一点最有感触，自从Newman迅速崛起后，他成为了杰夫·怀特日常生活中听到最多的名人。

    三人的闲聊在林本坚上台后戛然而止，大家都想听听新芯的技术路线。

    “.我们在晶圆光刻胶上方加了一层，利用这层介质把光源的波长缩短到了150nm以内。因此在不改变光刻机波长情况下，变相扩大了NA，使得193nm波长的能等效出150nm以内的波长！”

    “同时因为业内大量的芯片制造厂商们，他们会在一个大的硅片上生产大量不同的芯片，浸润式光刻法可以避免高掩模成本.”

    林本坚在台上通过一些图片和实验结果来展示浸润式光刻机的优越性，讲的非常枯燥乏味，大量的技术内容掺杂着寥寥数笔浸润式光刻机的技术优势。

    即便如此，台下来自半导体不同环节的企业代表们没有一个走神，大家都在全神贯注的听着新芯的技术路线。

    “我就说浸润式可行，我们不应该在干式光刻机上再投入资金了。

    浸润式光刻机才是未来。

    我们继续沿着尼康和佳能的技术优势路线投入，那么我们永远都不会有超过佳能和尼康的机会。

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